六角形自聚焦微透镜研究

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制作六角形孔径的微透镜元是提高微透镜阵列填充因子的有效途径。采用高温熔盐离子交换工艺,以铊型玻璃为原料,研制出了横截面对边距为1mm的六角形自聚焦微透镜。测试表明,此六角形自聚焦微透镜成像质量良好,近场光斑尺寸达2.6μm;其畸变、数值孔径和折射率分布均与六角形对边的中垂线成轴对称渐变;折射率分布轮廓自中心向边沿由圆形渐变为六角形,制作的微透镜阵列填充因子达到96.1%。
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