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磁控溅射偏压对NbAlSiN涂层的结构和性能的影响

来源 :第十九届全国高技术陶瓷学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：qisini7814

【作 者】

：

江泉英 汪壬东 张淑娟 李明升 

【机 构】

：

江西科技师范大学江西省材料表面工程重点实验室,南昌,330013

【出 处】

：

第十九届全国高技术陶瓷学术年会

【发表日期】

：

2016年8期

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