聚焦离子束可以制备碳纳米管(样品)吗

• 作 者: 柯小行 Gustaaf Van Tendeloo
• 机 构: ElectronMicroscopyforMaterialsResearch,UniversityofAntwerp,Gorenenborgerlaan171,B-2020Antwerp,Belgiu
• 出 处: 2013年全国电子显微学学术会议
• 发表日期: 2013年10期
• 关键词: 碳纳米管 截面样品 聚焦离子束 制备技术

作者以碳纳米管在硅基芯片上的集成作为研究对象，分析如何用FIB制备碳纳米管复合材料的截面样品。作者通过透射电镜的分析(EFTEM等)和高分辨(HRTEM)分析手段研究该复合结构的界面结合，并应用三维(3D electrontomography)重构重现碳纳米管的直径和分布。提出聚焦离子束与碳纳米管的相互作用也可以被利用于碳纳米管的表面改性。聚焦离子束/电子束的纳米结构沉积(IBID/EBID)也是双束系统的一大应用。