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MEMS系统阳极键合用PEO-LiClO4与铝键合界面残余应力特征分析
【机 构】
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研究生学院,太原科技大学,030024
【出 处】
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2014`全国半导体器件产业发展、创新产品和新技术研讨会暨第七届中国微纳电子技术交流与学术研讨会
【发表日期】
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2014年期
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