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本文介绍了Au-Al键合系统的失效机理及其对器件可靠性的影响,并以具体实例说明了Au-Al键合系统生成金铝间化合物和Kirkendall(柯肯德尔)空洞导致器件失效,最后,提出了相应的预防措施.
Au-Al键合系统失效对IC器件的影响
【摘 要】
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本文介绍了Au-Al键合系统的失效机理及其对器件可靠性的影响,并以具体实例说明了Au-Al键合系统生成金铝间化合物和Kirkendall(柯肯德尔)空洞导致器件失效,最后,提出了相应的
【机 构】
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电子元器件可靠性物理及其应用技术国家级重点实验室
【出 处】
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中国电子学会可靠性分会第十三届学术年会
【发表日期】
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2006年期
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