【摘 要】
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本文提出一套结合旋转分析板及Calcite棱镜来量测微小角度变化的干涉仪,它俱非等光程共路径干涉仪高灵敏度,高稳定度之特点。光学架设是角度变化造成通过Calcite棱镜之干涉光
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本文提出一套结合旋转分析板及Calcite棱镜来量测微小角度变化的干涉仪,它俱非等光程共路径干涉仪高灵敏度,高稳定度之特点。光学架设是角度变化造成通过Calcite棱镜之干涉光产生相位变化,该干涉光与另一参考干涉光通过旋转分析板後,相位变化被锁相放大器侦测出来,据此可反推角度变化量。实验上,本文所提干涉仪先与HP5529A雷射量测系统做量测比较,接着用它来量测位移平台之扭动(Pitch)与摆动(Yaw),实验结果验证了它的正确性和可行性。
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