纳米硅表面与界面的扫描隧道显微镜研究

• 作 者: 高聚宁[1]何宇亮[2]
• 机 构: 院北京真空物理开放实验室
• 出 处: 第四届全国扫描隧道显微学学术会议
• 发表日期: 1996年期
• 关键词: 原子力显微镜 密度 中介相碳小球

该文应用扫描隧道显微镜（ＳＴＭ），对使用等离子体增强化学气相沉积法（ＰＥＣＶＤ）制备的纳米硅（ｎｃ－Ｓｉ：Ｈ）薄膜进行了研究，得到颗粒上以及颗粒间界的原子结构图像，从图像上可以得出：（１）纳米硅薄膜是由许多不同大小的颗粒所组成。这些颗粒同时又是由更小的微颗粒所组成。（２）微颗粒的表面及界面原子排列可以分为四种形式；环状结构，线状结构，网状结构以及完全无规的随机排列。（３）观察到环状结构不仅存在于界面，而且普遍存在于微颗粒的表面。该文从机理上对以上各结构的生成机理进行了初步的讨论。