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本文采用氨水-草酸协同沉淀法制备了CeO2精密抛光粉。研究了焙烧温度和焙烧时间对CeO2精密抛光粉的粒度、比表面积和抛蚀量的影响,得到了最佳的焙烧条件。并用XRD、粒度分布测试等对其进行了表征。研究结果表明所制备的CeO2精密抛光粉颗粒细小均匀,形状完整,具有完整的晶格。中位径D50为0.149μm,最大粒径约为3.0μm。