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低损硅基纳米光波导功能单元可作为光互连、光通讯、光传感的关键基础单元,为未来集成光电系统提供支持.集成纳米光波导陀螺是一类典型的微光机电系统,由垂直纳米光栅耦合结构、高Q微谐振腔、电光调制模块、光电探测器等组成,具有全固化、高灵敏和适应恶劣环境、抗高过载、可批量制造等优点.
集成纳米光波导器件基础研究进展及展望
【摘 要】
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低损硅基纳米光波导功能单元可作为光互连、光通讯、光传感的关键基础单元,为未来集成光电系统提供支持.集成纳米光波导陀螺是一类典型的微光机电系统,由垂直纳米光栅耦合结
【机 构】
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中北大学电子测试技术国家重点实验室,太原,030051
【出 处】
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第五届全国光学青年学术论坛
【发表日期】
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2013年7期
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