1k×1kInAs/GaSbⅡ类超晶格中波红外焦平面研究

• 作 者: 白治中 徐志成 许佳佳 黄爱波 陈建新 丁瑞军 何力
• 机 构: 中国科学院上海技术物理研究所 红外成像材料与器件重点实验室,上海 200083
• 出 处: 第十二届全国分子束外延学术会议
• 发表日期: 2017年期
• 关键词: 超晶格 中波 红外焦平面探测器 国内外 红外探测器 高分辨成像 需求 光谱范围

　　近年来，随着应用需求的不断提升和技术的进步，红外焦平面探测器朝着更大规模，更高分辨率的方向发展.InAs/GaSb Ⅱ 类超晶格由于其带隙可调，响应光谱范围宽和材料均匀性高等特点，近年来成为国内外红外探测器研究的一个热点，国内外研究都取得了重要的进展.本研究针对未来高分辨成像应用的需求开展了像素规模为 1k×1k 的超晶格焦平面探测器研究.