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本文通过在金刚石薄膜表面蒸镀纳米量级金膜作为栅级的方式,在低于10V的电压下观察到金刚石薄膜的场发射,共发射电子的发散角度小于6°,接近于面发射.
低压金刚石薄膜场发射特性研究
【摘 要】
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本文通过在金刚石薄膜表面蒸镀纳米量级金膜作为栅级的方式,在低于10V的电压下观察到金刚石薄膜的场发射,共发射电子的发散角度小于6°,接近于面发射.
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所(吉林长春)
【出 处】
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第八届全国固体薄膜学术会议
【发表日期】
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2002年12期
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