CVD共沉积C-SiC纳米复合涂层的结构与性能研究

• 作 者: 蒋鸣暄 郑久红
• 机 构: 科学院金属研究所(沈阳)
• 出 处: 第三届全国新型炭材料学术研讨会
• 发表日期: 1997年期
• 关键词: 共沉积 纳米复合涂层 结构 涂层材料 含量 石墨基体 晶粒尺寸 化学气相 范围变动 沉积方法 热解碳 纳米级 硬度 连接 骨架 构成

采用化学气相共沉积方法，在石墨基体上，在１６２３Ｋ，６６Ｐａ的条件下制备了ＳｉＣ含量从０－１００ｗｔ℅全范围变动的Ｃ－ＳｉＣ复合涂层材料。当涂层中ＳｉＣ含量在０－７０ｗｔ℅时，ＳｉＣ以纳米级晶粒尺寸弥散在热解碳中，当ＳｉＣ含量在７０－７６ｗｔ℅时，ＳｉＣ晶粒已经连接起来，构成骨架。复合涂层材料的硬度随ＳｉＣ含量的增加存在明显的转折点。