【摘 要】
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本文介绍了一种适用于微压下的梁膜结构压电微压传感器,它是由一新型梁膜结构和压电材料结合而成.这种新型的压电压力传感器具有高灵敏度、结构简单和动态性能好等优点.本论
【机 构】
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机械制造系统工程国家重点实验室,西安交通大学,西安710049
【出 处】
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第十四届全国敏感元件与传感器学术会议
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本文介绍了一种适用于微压下的梁膜结构压电微压传感器,它是由一新型梁膜结构和压电材料结合而成.这种新型的压电压力传感器具有高灵敏度、结构简单和动态性能好等优点.本论文中对其机械结构、压电特性和压电材料结构进行了分析设计.通过使用COMSOL软件,对新型机械结构的应力和挠度进行了仿真分析,并与以前传统的平膜结构和岛膜结构进行了应力、挠度的对比,证明了其具有更高的灵敏度.然后通过对其压电特性和压电材料结构进行设计分析,确定了其最终设计方案.最后对其进行了压电传感器整体仿真分析,证明了其具有高的信号输出和良好的频响反应,同时利用低频截止频率计算公式,得到了该梁膜结构压电压力传感器的适用频率范围.
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