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基于在微米-纳米尺度器件上实现薄膜沉积和加工成型，以及在芯片上实现机械系统和电路系统的集成的问题，本文就目前该领域里一是磁器件材料的选材和薄膜磁性能的提升；二是MEMS器件中磁性材料的微细加工技术的研发这两方面研究现状和进展进行了分析。
高温磁性薄膜及器件成型技术研究进展
【摘 要】
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基于在微米-纳米尺度器件上实现薄膜沉积和加工成型，以及在芯片上实现机械系统和电路系统的集成的问题，本文就目前该领域里一是磁器件材料的选材和薄膜磁性能的提升；二是MEM
【机 构】
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安徽大学磁性材料与器件研究中心,教育部光电信息控制与获取重点实验室,安徽合肥230039
【出 处】
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第五届全国高新磁性材料及器件产学研讨论会
【发表日期】
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2012年期
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