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本文对磷烷的合成、净化等方法进行了详细的介绍,指出随着IC制造业的发展,传统的磷烷净化工艺已成为历史,新的净化方法在原理上同以往的工艺有着本质的区别.吸附--低温精馏--超纯终端净化联合工艺是当今磷烷生产的发展方向,指出了我国未来几年电子气体净化需要克服的技术"瓶颈".
高纯磷烷的规模化生产
【摘 要】
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本文对磷烷的合成、净化等方法进行了详细的介绍,指出随着IC制造业的发展,传统的磷烷净化工艺已成为历史,新的净化方法在原理上同以往的工艺有着本质的区别.吸附--低温精馏--
【机 构】
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光明化工研究设计院,辽宁,大连,116031
【出 处】
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2006全国电子化学品发展研讨会
【发表日期】
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2006年6期
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