超硬氮化碳薄膜的制备与性能研究

• 作 者: 吴大维;付德君;刘传胜;高鹏;叶明生;彭友贵;范湘军;
• 机 构: 武汉大学物理与电子信息技术学院
• 出 处: 1999年第二届表面工程国际会议
• 发表日期: 1999年期
• 关键词: 氮化碳 超硬材料 刀具 涂层技术

采用dc反应磁控溅射和多弧离子镀相结合的方法，在高速工具钢基体上沉积C<,3>N<,4>/TiN复合超硬薄膜，用X光电子能能谱分析了氮化碳的元素组成。X射线衍射和透射电子衍射分析证明，氮化碳以硬质结晶相存在。复合膜的显微硬度Hv=35.1-46.7GPa，经划痕试验表明，薄膜在高速钢上的附着力达到JB/T8365-96标准。