等离子体离子注入DLC多层膜机械特性

• 作 者: 蔡珣 马峰 陈秋龙 李刚 马洪涛
• 机 构: 上海交通大学教育部高温材料与高温测试重点试验室(上海) 清华大学摩擦学国家重点试验室(北京)
• 出 处: 第七届全国典型零件热处理学术交流会暨第四届全国热处理学会物理冶金学术交流会
• 发表日期: 2002年12期
• 关键词: DLC 断裂韧性 界面结合强度 1Cr18Ni9Ti 离子注入

采用非平衡磁控溅射及等离子体离子混合注入方法在奥氏体不锈钢1Cr18Ni9Ti基体上制备N/TiN/Ti(N,C)/DLC梯度涂层.研究了类金刚石梯度膜的结构特征和力学性能.试验结果表明,N/TiN/Ti(N,C)/DLC梯度膜最外层为典型的含H的DLC层.梯度膜的硬度、弹性模量,断裂韧性以及界面结合强度值分别为19.84GPa,190.03GPa,3.75MPa·m<1/2>和5.68MPa·m<1/2>.试验所制备的DLC多层膜比DLC单层膜具有更好的综合机械特性.