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设计了一种新型结构的MOEMS阵列光开关，开关由上电极阵列、下电极阵列和准直光纤阵列三部分组成的。上电极阵列利用（110）硅片制作，其中包括反射镜阵列和扭臂驱动结构的上电极。下电极阵列利用偏一定角度的（111）硅片制作。
MOEMS阵列光开关的研制
【摘 要】
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设计了一种新型结构的MOEMS阵列光开关，开关由上电极阵列、下电极阵列和准直光纤阵列三部分组成的。上电极阵列利用（110）硅片制作，其中包括反射镜阵列和扭臂驱动结构的上电极。下
【机 构】
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吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点联合实验室,长春,130023吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点联合实验室,长春,130023;中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,长春,
【出 处】
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第五届全国光子学大会
【发表日期】
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2004年10期
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