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柔性金属衬底上动态溅射沉积电子薄膜用类钙钛矿氧化物缓冲层
【机 构】
:
上海大学超导与应用技术研究中心,上海市上大路99号,上海200444
【出 处】
:
AVT2010国际学术会议——真空技术在光电材料与器件中的应用
【发表日期】
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2010年8期
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