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@@x-射线能谱分析是目前使用最广泛的与电镜相结合研究微区化学成分的分析方法之一。近年来，能谱仪发展日新月异，已与电镜融为一体，成为显微分析不可缺少的一部分。能谱仪可检测的元素范围为Be4-U92，对各类样品均可进行元素或氧化物的定性和定量分析，可同时检测出样品中的所有元素，定性、定量几分钟可以完成，是一种既方便、又快速的定性和定量分析方法。对中等原子序数的元素定量准确度已很高。能对轻元素进行分析是其最主要的优点之一，但是对轻元素进行定量分析其准确性较差，例如轻元素碳，多数为定性分析。钢铁样品中经常含有不同数量的轻元素碳，用能谱仪分析含碳的钢铁样品怎样才能使轻元素碳含量更准确是一个亟待解决的问题。