【摘 要】
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Electrostatic comb-drive MEMS relays have attracted numerous efforts of researchers for its advantages of low power,easy fabrication and low actuation volta
【机 构】
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Key Laboratory of MEMS of the Ministry of Education,Southeast University,Nanjing 210096,China
【出 处】
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第十四届全国敏感元件与传感器学术会议
论文部分内容阅读
Electrostatic comb-drive MEMS relays have attracted numerous efforts of researchers for its advantages of low power,easy fabrication and low actuation voltage.However,Electrostatic comb-drive MEMS relays/switches may suffer from the pull-in effect.Tilted beams can solve the problem,but it can also increasing driving voltage.In the paper,we have developed a lateral electrostatic driven switches where a tilted folded beam and double-stop fingers are utilized.The tilted folded beam can reduce pull-in effect while double-stop fingers can reduce the driving voltage.Tilted beams were found to have a larger restoring force than traditional beams.Measured actuation voltage of designed electrostatic combdrive MEMS relays is 10.2V.
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