【摘 要】
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对向靶制备纳米多晶铁氮膜,多种因素影响着Fe-N膜的磁性质、相结构及成膜质量.本文采用透射电镜(TEM),震动样品磁强计(VSM)和X-射线衍射仪(XRD)表征膜的磁化强度和结构,研究
【机 构】
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天津大学理学院现代材料研究所;先进陶瓷与加工技术教育部重点实验室(天津)
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对向靶制备纳米多晶铁氮膜,多种因素影响着Fe-N膜的磁性质、相结构及成膜质量.本文采用透射电镜(TEM),震动样品磁强计(VSM)和X-射线衍射仪(XRD)表征膜的磁化强度和结构,研究了氮流量(N<,2>)对Fe-N膜结构、磁性质及膜中晶粒大小的影响.结果表明,在给定实验条件下,用对向靶制备可制备纳米多晶铁氮膜,氮流量不同,Fe-N膜的结构、磁性和膜中晶粒大小也不同,其中N<,2>为2.0sccm时,得到的FeN膜的晶粒分布最为均匀,大小为9.0nm;N<,2>为2.6sccm时,相对饱和磁化强度值最大;在N<,2>在1.2~2.8sccm范围内,样品中出现了FeN化合物的各个相:α′-马氏体,α″-Fe<,16>N<,2>,γ′-Fe<,4>-N,ε-Fe<,2-3>-N,ζ-Fe<,2>-N.
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