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本文介绍了一种新型冷却技术微型电液动力泵的工作原理，利用镀膜技术在硅片上加工了平板形状电极的微型电液动力泵。阐述了利用剥离方法来制作微型电液动力泵的电极，研究了利用库仑力驱动流体流动的电液动力泵的可行性。电极宽度40μm，长度15mm，间距50μm，为90对电极，每对电极间距100μm，流体流动的微通道为100μm 。选用无水乙醇作为工作流体，进行了静压测试，当电压加到90V时候，产生相当于250Pa的压强。