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本文通过采用等离子体质谱仪对Zirlo锆合金中22种化学成分及杂质元素含量的分析方法进行研究。确定了Zirlo锆合金溶解方法，研究了溶液酸度、乙腈加入量、基体浓度等条件对其化学成分与杂质元素含量检测的影响。考察了共存元素的干扰，选择合适检测条件、内标元素和方法检出限，使用等离子体质谱仪建立了Zirlo锆合金中22种化学成分与杂质元素的检测方法。各元素检测相对标准偏差均小于10％，回收率在90％-110％之间。