无机溶胶-凝胶法制备热致相变二氧化钒薄膜

来源 :2016’中国溶胶-凝胶学术研讨会暨国际论坛 | 被引量 : 0次 | 上传用户:vicky88337402
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  二氧化钒(VO2)作为一种热致相变材料,是目前相变材料中研究的热点。在约68℃时,VO2发生由半导体相向金属相的可逆相变,同时伴随着电学、光学和磁学等物理性质的突变,在智能窗、军事伪装等领域具有广阔的应用前景。本文采用V2O5作为原料,首先采用无机溶胶-凝胶法和浸涂工艺在石英基底上制备了V2O5薄膜,研究了V2O5溶胶的稳定性以及浸涂工艺对薄膜厚度的影响。然后对V2O5薄膜进行热处理,得到了VO2薄膜。对制备出的VO2薄膜进行了X射线衍射,并测试了VO2薄膜在不同温度下的电阻值。结果表明所配置的V2O5溶胶具有良好的稳定性,可通过控制浸涂次数制备不同厚度的V2O5薄膜。热处理后所制备出的VO2薄膜价态单一,纯度高,薄膜中没有其他价态的化合物存在,厚度为500hm的VO2薄膜电阻突变量达到1000倍。通过无机溶胶-凝胶法制备的VO2薄膜表现出优异的热致相变特性,在商业及军事领域均具有广泛的应用前景。
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