【摘 要】
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微机电系统(MEMS)的研究已经发展成为前沿性、多学科交叉的高科技领域。研制MEMS器件可以大大推进现有装备的小型化、自动化、智能化和可靠性水平，在航空航天、电子信息、医疗卫生、环境保护、国防科技、消费类电子等领域有巨大的应用前景。本文研究了一类由三阱势能系统描述的典型MEMS复杂动力学行为所对应的吸合现象。三阱势能系统，由于系统势能函数多个极点之间位置关系的复杂性，使其相空间曲线可以表现出多种形
【机 构】
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北京工业大学机械工程与电子技术学院,北京 100124;天津理工大学机械学院天津市先进机电系统设计与智能控制重点实验室,天津300072
【出 处】
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第十六届全国非线性振动暨第十三届全国非线性动力学和运动稳定性学术会议
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微机电系统(MEMS)的研究已经发展成为前沿性、多学科交叉的高科技领域。研制MEMS器件可以大大推进现有装备的小型化、自动化、智能化和可靠性水平，在航空航天、电子信息、医疗卫生、环境保护、国防科技、消费类电子等领域有巨大的应用前景。本文研究了一类由三阱势能系统描述的典型MEMS复杂动力学行为所对应的吸合现象。三阱势能系统，由于系统势能函数多个极点之间位置关系的复杂性，使其相空间曲线可以表现出多种形式。具有非Z2对称性的特殊同宿轨道问题是三阱势能系统中的一个重要现象。本文给出了系统具有三条非Z2对称同宿轨道时其系统参数与平衡点位置之间的对应关系，应用改进的Padé逼近方法获得了其保守系统同宿轨道的解析表达式。建立了Melnikov函数积分式得到了其非自治系统发生同宿分岔时的分岔曲线。作为算例，获得了一类典型的MEMS的包含物理参数的临界轨道，分析了参数和周期激励联合作用下非自治系统的混沌门槛值，即出现吸合现象时所对应的吸合电压。对比解析与数值积分结果，验证了解析方法的有效性和可行性。
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