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近几年，电子陶瓷生产工艺对窑炉热工设备提出了新要求。该文着重介绍研制的几种电子陶瓷窑炉的特点及其工艺适应性。
电子陶瓷窑炉热工设备的进展
【摘 要】
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近几年，电子陶瓷生产工艺对窑炉热工设备提出了新要求。该文着重介绍研制的几种电子陶瓷窑炉的特点及其工艺适应性。
【机 构】
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信息产业部电子第四十八研究所
【出 处】
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中国电子学会第十一届电子元件学术年会
【发表日期】
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2000年期
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