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在通过调节灯管分布获得均匀温场后,通过对沉积温度,沉积气庄的控制,得到三种不同沉积条件下的CdTe薄膜,通过XRD,SEM测试分析,发现在相同沉积温度下,随着气压的升高薄膜的晶粒更加均匀致密,获得到了适宜CdTe薄膜沉积的条件.
大面积CdTe多晶薄膜制备条件及性能研究
【摘 要】
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在通过调节灯管分布获得均匀温场后,通过对沉积温度,沉积气庄的控制,得到三种不同沉积条件下的CdTe薄膜,通过XRD,SEM测试分析,发现在相同沉积温度下,随着气压的升高薄膜的晶
【机 构】
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四川大学材料科学系,成都,610064
【出 处】
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第九届中国太阳能光伏会议
【发表日期】
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2006年期
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