金字塔型表面织构化Al掺杂ZnO薄膜制备及性能研究

• 作 者: 谭瑞琴[1]周珊珊[1]庄福强[1]杨晔[2]王木钦[2]宋伟杰[2]
• 机 构: 宁波大学信息科学与工程学院,宁波315211
• 出 处: 2014中国溶胶-凝胶学术研讨会暨国际论坛
• 发表日期: 2014年期

　　本研究采用低温水浴法在玻璃衬底上首先沉积一层ZnO纳米棒阵列(NRAs)，并以此为基底溅射获得Al掺杂ZnO (AZO)薄膜。该层薄膜继承并修饰底层纳米棒的织构化结构，得到了六面金字塔型表面织构。实验系统性研究了ZnO NRAs的结构对溅射后AZO薄膜的结构、形貌特征、致密度以及光电性能的影响。结果表明，在结构规整、独立的ZnO NRAs上直流溅射得到的AZO薄膜，表面(101)晶相的六面金字塔结构的轮廓明显；AZO薄膜的光学性能有显著提高，透过率高于85％(含衬底)，薄膜的电阻率可以控制在10-4 Ω·cm数量级。