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基于 f-θ透镜系统的扫描测量，是由位相板产生的衍射条纹作为测量基准，测量 FT透镜(傅立叶变换透镜)后焦面上测量光斑的位移变化，通过角度-位移的转换机理，可以实现大尺寸高精密非球面光学零件轮廓的检测。本文介绍了扫描轮廓检测的原理、组成、系统参数的选择及测试的结果。表明这种基于 f-θ透镜系统的扫描轮廓检测系统在量程 1200mm 内，测量分辨率优于 0.1μrad，扫描静态稳定性小于 0.5μrad，测量精度优于 2.0μrad。