【摘 要】
：
本文介绍自主研发的、处于世界领先水平的系列MEMS(MicroElectro Mechanical Systems, 微电子机械系统)低功耗质量流量芯片的设计原理、性能和应用。该专利MEMS流量芯片作为
【机 构】
：
美国矽翔微机电系统(上海)有限公司 上海 200233
论文部分内容阅读
本文介绍自主研发的、处于世界领先水平的系列MEMS(MicroElectro Mechanical Systems, 微电子机械系统)低功耗质量流量芯片的设计原理、性能和应用。该专利MEMS流量芯片作为一次传感核心部件,除了可测量超大量程的流量参数以外,还可以同时获得介质的温度、浓度等参数。配以专门为此开发的低功耗的二次智能电路,可制作用于纯净介质,具有超大量程、微功耗、无压损、小流量灵敏、响应时间快、全量程高精度及易于远传和网络化管理全电子流量计以及各类传感器。
其他文献
文章利用微型铂膜温度传感器在高温下强迫对流换热的原理,用桥路补偿环境温度的方法,设计了一种应用于汽车进气流置测量的铂膜空气流量计。并在此基础上提出了基于多点测量的
在ISO9300:2005(E)中,"对于工作在雷诺数Re小于2×10的临界流文丘里喷嘴,建议用户保持0.25的背压比,或者对他们的临界流文丘里喷嘴进行一次非临界测试。"我国近几年来建立了
国家原油大流量计量站利用其车载式音速喷嘴天然气流量标准装置，连续多年在陕京输气管线的主要贸易计量站实施孔板流量计的在线实流检定，在大庆、陕西等地天然气公司也开展了此
本文介绍了在气动中心超高速所的φ320mm高温高超声速风洞上利用流量匹配法对氢氧燃烧加热器的总温测量结果进行气动校核的相关研究成果。其中加热器注入流量采用文氏管流量
根据音速喷嘴气体流量标准装置的基本原理,采用模块化程序设计的方法,利用研华PCI和PCL系列板卡,自动控制仪表检定流量并且实时采集系统模拟量和数字量,依据国家有关速度式和
本文研究了影响谐振式科氏质量流量传感器工作性能的几种干扰因素的影响。这些干扰因素包括:流体流速、管内内压、流体脉动、内部耦合振动、非线性振动和安装应力等。深入分