微电子机械系统(MEMS)综述

来源 :2005年上海市电镀与表面精饰学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：xuyingheng

【摘要】

：

MEMS英语全称为MicroElectroMechanicalSystem,即微电子机械系统.半导体微电子系统、集成电路IC系统和超大规模集成电路系统国际上发展得很快,工艺相对来讲已很成熟,其器件的

【作者】

：

吴茂钧黄锦斐

【机构】

：

复旦大学化学系,上海,200433

【出处】

：

2005年上海市电镀与表面精饰学术年会

【发表日期】

：

2005年5期

【关键词】

：

微电子机械系统纳米技术表面处理

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MEMS英语全称为MicroElectroMechanicalSystem,即微电子机械系统.半导体微电子系统、集成电路IC系统和超大规模集成电路系统国际上发展得很快,工艺相对来讲已很成熟,其器件的微型化也能满足各方面要求.而微机械系统同样也在飞速发展.本文主要对微电子机械系统(MEMS)进行介绍.

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