【摘 要】
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压阻式加速度传感器,简称压阻式加速度计,一般由质量快、悬臂梁和压敏电阻构成,是利用压阻效应来检测加速度的.压阻式加速度计有灵敏度高、稳定性好、制作简单等优点.本文提
【出 处】
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第十二届全国半导体集成电路硅材料学术会议
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压阻式加速度传感器,简称压阻式加速度计,一般由质量快、悬臂梁和压敏电阻构成,是利用压阻效应来检测加速度的.压阻式加速度计有灵敏度高、稳定性好、制作简单等优点.本文提出了一种新型硅压阻式加速度传感器结构,该结构采用四个悬臂梁,这样既能够减小横向影响,又可以有效的利用由加速度产生的应力,使输出最大限度的响应输入.本文还介绍了版图设计和具体的工艺流水过程,在工艺过程中采用了一种新的双面对中方法,对悬臂梁和释放过程也进行了改进,使得芯片的成品率得到很大提高.
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