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ＤＮ快速低应力镀镍工艺研究
【机 构】
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北京电镀总厂
【出 处】
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第六届全国电子电镀年会
【发表日期】
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1992年期
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以ＳｉＨ〈，４〉作为原料气在Ｎ〈，２〉保护气氛下，采用常压化学气相沉积方法在普通浮法玻璃基板上沉积一层硅薄膜制备阳光控制硅镀膜玻璃。使用Ｘ光电子能谱、紫外－可见光谱等分析测试了试样的
该文介绍了研制成功的中国第一台能镀6m长不锈钢管的大型卧式真空离子镀膜机，该机采用真空电弧的工艺方法。机械传动采用行星轮系来实现工件的轴向移动，控制部分采用计算机控制