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本文介绍了静电键合工艺仿真模型及其过程仿真,对平板电极、单点电极、多点电极的键合电流和键合进程进行了建模,采用动态工艺数据库方法完成了三种静电键合工艺下的可视化编程,实现了静电键合过程的可视化仿真与工艺CAD.
基于静电键合过程模型的工艺仿真
【摘 要】
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本文介绍了静电键合工艺仿真模型及其过程仿真,对平板电极、单点电极、多点电极的键合电流和键合进程进行了建模,采用动态工艺数据库方法完成了三种静电键合工艺下的可视
【机 构】
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哈尔滨工业大学,哈尔滨,150001
【出 处】
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中国微米纳米技术第七届学术年会
【发表日期】
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2005年期
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