论文部分内容阅读
在SOI材料的制备技术中,为了减少离子的浪费和提高注入能量,避免采用更大的真空室和高压脉冲调制器,本文提出了直流等离子体浸没式离子注入技术,并对其原理进行探讨.
直流等离子体浸没式离子注入
【摘 要】
：
在SOI材料的制备技术中,为了减少离子的浪费和提高注入能量,避免采用更大的真空室和高压脉冲调制器,本文提出了直流等离子体浸没式离子注入技术,并对其原理进行探讨.
【机 构】
：
香港城市大学物理及材料科学系
【出 处】
：
第十一届全国电子束、离子束、光子束学术年会
【发表日期】
：
2001年期
其他文献
经济的发展对电力提出了更高的要求，电力的发展又为经济的发展提供有力支撑，两者相辅相成。在城市电网发展的过程中，尽管我们已经取得了一定的成就，但仍然还存在一些问题，制约了我
海绵城市建设目前已成为众多行业和科技领域的讨论热点之一，也面临众多争议，海绵城市建设的内涵、目标、内容和效果等均存在不同认识。针对雨水管理这一理念，提出了海绵城市这个
随着建筑业的爆棚式发展我国已经进入到了建筑行业业态的稳定发展期，整体建筑业的建设规模、数量等也在逐渐下降，虽然价格高居不下，但在品质方面却有了显著改善；比如，户型设计、室
SOI(silicon-on-insulator)光波导是硅基光波导器件的基础上,也是实现其它有源器件无源器件以及光学器件交叉连接的基础.三维脊形光波导引入水平方向的折射率差,加强了波导对
会议
波音公司表示,未来10年,全球将有7200多架到寿飞机被分解拆除。通常,一架飞机上80%～85%的材料和部件都是可以再利用。飞机机队再利用协会(AFRA)的建立,是为了研究和发布飞机再
后浇带施工技术是为了有效防止混凝土在施工过程中出现裂缝问题而产生的一项施工手段 , 在具体房建施工当中 , 可以先在墙体或者底板等部位设置施工裂缝 , 暂时将各个施工结
近年来,农村经济不断进步,人们生活水平不断提高,使得人们对生活质量要求也越来越高.公路工程作为人们日常出行的基本设施之一,为满足日益加大的交通量及确保人们出行更加舒
众所周知,中国的航空运输业正呈现飞速发展之势。中国民用航空总局(CAAC)给出的数据显示,今后5年中国的航空公司将引进650架飞机。今后20年,为满足不断扩张的机队对维修服务
采用无质量分析器的离子注入机以低能量低剂量注水的方式代替常规的SIMOX注氧制备SOI材料.这种新技术具有注入时间短和降低成本的优点,是未来低价商用SOI材料制备可选方法之
会议