论文部分内容阅读
从控制加热功率间接控制合成腔内温度的观点出发,分析了控制加热功率的合理性和对工艺的适用性,在此基础上给出了恒功率加热控制系统的结构,阐述了合成金刚石晶体过程中的两个阶段以及有关学者的论点,肯定了实现非恒功率加热系统的可能性,从而引伸出以可编程序控制器自动监控,在恒功率加热系统基础上改进的非恒功率加热系统的结构,讨论了加热系统使用中存在的几个问题。