人造金刚石合成过程中的温控技术

来源 :中国有色金属学会第二届青年学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:deeyf
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从控制加热功率间接控制合成腔内温度的观点出发,分析了控制加热功率的合理性和对工艺的适用性,在此基础上给出了恒功率加热控制系统的结构,阐述了合成金刚石晶体过程中的两个阶段以及有关学者的论点,肯定了实现非恒功率加热系统的可能性,从而引伸出以可编程序控制器自动监控,在恒功率加热系统基础上改进的非恒功率加热系统的结构,讨论了加热系统使用中存在的几个问题。
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