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理学X射线应力仪2904和X射线衍射仪RU——200V的故障与排除
【出 处】
:
第七届全国X射线衍射学术会议
【发表日期】
:
1998年期
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期刊
金刚石膜具有高的X射线透过率、辐射硬度、杨氏模量、导热率,是新型的X射线掩模基膜材料.根据X射线光刻对基膜材料的要求,本文研究了微波等离子体CVD法生长的金刚石膜的应力