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运用金属有机气相处延设备、国产三甲基镓和进口氮气，在蓝宝石衬底两相相反取向的C面上同时生长六方相氮化镓薄膜，当衬底表面是向籽晶面时，生长的六方相氮化镓薄膜有黑色夹层，而当衬底表面是背籽晶面时，生长的氮化镓则无黑色夹层。
六方相氮化镓薄膜中黑色夹层的探讨
【摘 要】
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运用金属有机气相处延设备、国产三甲基镓和进口氮气，在蓝宝石衬底两相相反取向的C面上同时生长六方相氮化镓薄膜，当衬底表面是向籽晶面时，生长的六方相氮化镓薄膜有黑色夹层，而
【机 构】
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中国科学院半导体研究所、半导体材料科学实验室
【出 处】
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第七届全国固体薄膜学术会议
【发表日期】
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2000年期
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