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在微系统应用中，有许多的MEMS 器件工作在液体环境中，其响应和性能直接的受到流流体与微结构相互作用的影响，例如：微泵、微阀、微粘度计、MEMS 生化传感器等.在微尺度下，微流体与微结构的相互作用的研究非常有必要.MEMS 元件及其间隔处在微米量级，材料的力学性能呈现显著的尺寸效应.对于微流体，雷诺数非常小，所有的流体流动是层流的而不是紊流的，表面张力和粘性力成为很重要的力，惯性变得不那么重要.在MEMS 传感器中，微悬臂梁传感器是应用最广的一类传感器，微悬臂梁传感器工作在液体中时，其固有频率会下降很多.分析微流体与微结构相互作用对工作在液体环境的微悬臂梁传感器的影响，对设计微悬臂梁传感器很有帮助.本文将采用FE-SPH 算法对微流体与微结构的相互作用进行模拟.对流固耦合作用对工作在流体环境的MEMS 悬臂梁传感器的影响进行研究.