不同熔体配比的Inp晶片FT-IR测试分析

来源 :全国化合物半导体、微波器件和光电器件学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:nimashabi2009
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该文采用原位磷注入合成法在高压单晶炉内分别合成了富铟、近化学配比、富磷的InP熔体,利用液封直拉法(LEC)分别从不同化学计量比条件下的IsP熔体中生长InP单晶材料。对材料进行了村立叶变换红外吸收谱(FT-IR)的测试。测试结果表明:①本文采用原位磷注入合成LEC生长的InP晶体含有相对较高浓度的氢的复合体,以至于室温条件下己能检测到2316cm-1氢的局域振动模(H-LVM);②2316cm-1蜂的强度随富铟,近化学配比,富磷熔体化学计量比条件的变化逐渐增强。
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