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本文分析了传统MEMS加工工艺的特点及其效率低、成本高、复杂三维结构加工能力不足的局限,对以克服上述不足为目标而出现的各种快速成形微制造技术的研究现状和研究成果进行了综述.结合快速成形的降维制造思想和微压印技术二者的优点,提出了新的工艺方案,并对该方案中的关键问题及研究情况进行了讨论.
MEMS制造中的快速成型方法
【摘 要】
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本文分析了传统MEMS加工工艺的特点及其效率低、成本高、复杂三维结构加工能力不足的局限,对以克服上述不足为目标而出现的各种快速成形微制造技术的研究现状和研究成果
【机 构】
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西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室,710049,西安
【出 处】
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2005两岸三地先进成型与模具技术研讨会
【发表日期】
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2005年期
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