【摘 要】
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为提高在微变形镜应用中静电微致动器的冲程,设计并讨论了一种基于双端固定梁为上电极、曲面电极为下电极的异面微致动器.利用Rayleigh-Ritz方法,求解了致动器的静态特性.考
【机 构】
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浙江工业大学理学院,浙江杭州310023
【出 处】
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2013大气光学及自适应光学技术发展研讨会
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为提高在微变形镜应用中静电微致动器的冲程,设计并讨论了一种基于双端固定梁为上电极、曲面电极为下电极的异面微致动器.利用Rayleigh-Ritz方法,求解了致动器的静态特性.考虑到由于梁长度增大引起的抗拉应力以及器件制造过程中可能存在的残余应力在梁弯曲过程中起的重要作用,计算中充分考虑了这些应力的影响.
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