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在小间隙静电放电(ESD)中,有电极移动速度、气体压强会对放电参数的低重复离散特性产生影响.基于自主研发的新型测试系统可以完成可变气体压强放电和移动电极放电相关参数的测量.在间隙气体压强变化和以不同速度向靶移动放电的两种情况下,放电电流峰值和波形产生了显著的差异,实验测试证明了电极移动速度和空气压强对放电参数产生的影响.对放电参数受电极移动速度和气体压强变化可能的机制,进行了初步分析.