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硬度超过40GPa的固体薄膜称为超硬膜,这类薄膜的硬度可分为本征硬度和非本征硬度,本文主要介绍非本征硬度的纳米多层与复合膜的研究进展状况.
硬质纳米多层与复合膜的研究进展
【摘 要】
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硬度超过40GPa的固体薄膜称为超硬膜,这类薄膜的硬度可分为本征硬度和非本征硬度,本文主要介绍非本征硬度的纳米多层与复合膜的研究进展状况.
【机 构】
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北京科技大学材料学院(北京)
【出 处】
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首届中国热处理活动周学术会议
【发表日期】
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2002年8期
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