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低温共烧陶瓷(LTCC)技术是近年发展起来的令人瞩目的整合组件技术，已经成为无源集成的主流技术，随着其集成度的不断提高，对LTCC工艺中的精确对位提出了更高的要求。本文就LTCC工艺精确对位控制技术进行了系统研究，并提出了对位控制的检测方法。
LTCC工艺精确对位控制技术研究
【摘 要】
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低温共烧陶瓷(LTCC)技术是近年发展起来的令人瞩目的整合组件技术，已经成为无源集成的主流技术，随着其集成度的不断提高，对LTCC工艺中的精确对位提出了更高的要求。本文就LT
【机 构】
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中国航天科工集团第二研究院二十三所,国防科技工业军用微组装技术研究应用中心,北京 100854
【出 处】
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第十七届全国混合集成电路学术会议
【发表日期】
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2011年期
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