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铁氧体材料是从20世纪40年代迅速发展起来的一类非金属磁性材料。与金属磁性材料相比，铁氧体材料具有电阻率大、介电性能高、在高频时具有较高的磁导率等优点。本文综述了近十年来国内外铁氧体薄膜的研究现状及发展动态，重点阐述了尖晶石型、石榴石型和六角晶系磁铅石型铁氧体薄膜中典型薄膜制备方面的最新研究成果及发展动态。