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3D工艺技术被认为是半导体产业界一次重大突破，其全新架构将对半导体产业界带来极大变革.3D工艺技术支持超大规模集成电路集成度的跨越式发展，已被认为是面向ExaScale计算的一项关键半导体技术.本文分析了当前3D工艺技术的发展趋势和面临的挑战.
3D工艺技术发展趋势预测与分析
【摘 要】
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3D工艺技术被认为是半导体产业界一次重大突破，其全新架构将对半导体产业界带来极大变革.3D工艺技术支持超大规模集成电路集成度的跨越式发展，已被认为是面向ExaScale计算
【机 构】
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数学工程与先进计算国家重点实验室 无锡214125
【出 处】
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第十七届计算机工程与工艺年会暨第三届微处理器技术论坛
【发表日期】
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2013年期
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