【摘 要】
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本课题主要对隐埋电阻的应用开发做了进一步的研究工作,提出了埋阻阻值精度优化控制方案.研究结果表明,材料方阻提升的根本原因应是Ni-P合金层在加工过程中厚度会微量减薄所
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本课题主要对隐埋电阻的应用开发做了进一步的研究工作,提出了埋阻阻值精度优化控制方案.研究结果表明,材料方阻提升的根本原因应是Ni-P合金层在加工过程中厚度会微量减薄所致,而材料电阻率工艺前后并无变化,并提出了L=R-L-△L,W’=W+△W的新补偿公式,可实现电阻(阻宽W=5mil或阻长L=5mil)的精度控制.实际客户样板制作中,5mil阻宽的阻值精度可控制在±15％,阻值范围10Ω-100KΩ,制程能力Cpk均大于1.33.
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