Surface Oxidation and Combustion in Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition of SiO2 and Al2O3

来源 :中国化学会第一届全国燃烧化学学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：liqiran

【摘要】

：

　　Plasma-enhanced atomic layer deposition(PE-ALD)has been applied to prepare high-quality ultrathin films for microelectronics,catalysis,and energy applicatio

【作者】

：

Guo-Yong Fang Li-Na Xu

【机构】

：

CollegeofChemistryandMaterialsEngineering,WenzhouUniversity,Wenzhou325035

【出处】

：

中国化学会第一届全国燃烧化学学术会议

【发表日期】

：

2015年5期

【关键词】

：

Plasma-enhanced atomic layer deposition Surface oxidation Surface combustion

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

　　Plasma-enhanced atomic layer deposition(PE-ALD)has been applied to prepare high-quality ultrathin films for microelectronics,catalysis,and energy applications.The possible pathways for SiO2 and Al2O3 PE-ALD have been investigated by density functional theory calculations.

其他文献

TDLAS燃烧流场诊断方法研究

　　可调谐半导体激光吸收光谱(TDLAS)技术是一种利用半导体激光器波长调谐扫描气体分子单根吸收光谱，进而通过光谱信息反演气体状态参数的激光光谱技术.TDLAS技术以精度高、

会议

TDLAS燃烧诊断航空航天发动机诊断

An experimental and modeling study of C2H2 oxidation in a JSR

　　Acetylene(C2H2)is one of the significant intermediates or products during the combustion of many hydrocarbon fuels,particularly under fuel-rich conditions.I

会议

丁酸甲酯热解激波管实验及反应机理研究

　　We performed shock tube study of the thermal decomposition of methyl butanoate(MB)using recently developed tunable diode laser absorption diagnostics.This p

会议

丁酸甲酯热解激波管TDLAS反应机理

ZTO与金属盐配合物的恒容燃烧热的测定

　　将钾、铬、钕、铅的无机盐分别与偶氮三唑酮(ZTO)反应，通过浓缩、冷却、重结晶精制得四种金属盐配合物.用元素分析、红外、核磁确定了它们的组成，分别为K(ZTO)·H2O、Cr(ZT

会议

含能材料偶氮三唑酮燃烧热标准摩尔生成焓

激光吸收光谱在燃烧中的应用研究

　　温度、流速、燃烧中间产物和燃烧产物是燃烧科学研究中非常重要的参数。温度是燃烧反应速率和燃烧效率的重要表征参数，流速是发动机推力的重要参量，而燃烧中间产物，如OH自由

会议

燃烧吸收光谱温度燃烧组分OH自由基

氧原子和烃类分子反应动力学研究

　　氧原子和烃类分子的反应，是典型的多原子复杂分子反应。这些反应往往是燃烧化学、大气化学中的重要化学反应，蕴藏着更丰富的动力学信息。在原子分子水平上研究此类反应，即从

会议

势能面从头算多产物通道反应动力学计算燃烧化学

超燃发动机来流组分浓度在线测量

　　超燃冲压发动机以其高比冲、较高的推力和推重比以及较宽的马赫数等优点有望成为高速飞行器(M＞6)动力装置的最佳选择。地面实验是超燃冲压发动机研制的基础，地面实验时需要

会议

燃烧诊断组分流场发动机

正癸烷催化氧化反应的瞬态发射光谱初步研究

　　催化剂能够催化航空煤油发生裂解反应,对提高航空煤油的化学热沉具有重要意义[1].本文采用ICCD瞬态光谱测量系统和光电倍增管,在点/引燃温度为室温,点/引燃压力0-0.4MPa,

会议

不同简化程度的燃烧化学反应机理的预测能力研究

　　燃烧化学反应机理与计算流体力学(CFD)相耦合能够全面揭示发动机缸内的燃烧和有害排放物生成过程。详细化学反应机理对计算资源的要求巨大而无法应用，因此，为节省计算资源

会议

简化机理正庚烷滞燃期层流火焰物种浓度

蒸发和着火模型对甲醇射流火焰模拟的影响

　　本文应用空间滤波的大涡模拟计算方法，研究了某甲醇-空气两相湍流火焰。为了提高模拟精度，在计算中首先将实验得到的甲醇蒸发率与温度的关系曲线拟合到液滴蒸发关系式，其次

会议

液滴蒸发着火模型甲醇射流火焰模拟模拟结果模拟计算方法湍流火焰

Surface Oxidation and Combustion in Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition of SiO2 and Al2O3

其他学术论文